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TGV玻璃激光微孔设备

主要利用激光进行诱导不同材质0.1-1mm厚晶圆玻璃的微孔加工(TGV),可实现各种尺寸盲孔、圆锥(通)孔制备。

  • 咨询电话:0512-6507 0150
  • 电子邮箱:contact@juchaojia.com

■ 设备参数

产品材质

熔融石英、AF32等

产品厚度

0.1-1mm

最小孔径

30μm@玻璃厚度200-300μm

加工精度

±5μm,CPK>1.33

晶圆尺寸

6"&8"/8"&12"

Load Port

Bare wafer Load Port*1

X-Y Table Accuracy

±2μm



■ 应用领域

     用于玻璃通孔(TGV)、玻璃钻孔等



■ 加工效果示例图

      


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